10月18日,第十三届中国创新创业大赛高端装备制造全国赛圆满落幕。经过数日的激烈角逐与精彩展示,全国共9家企业分获本届高端装备制造全国赛一、二、三等奖,其中2家为江苏企业,而这2家江苏企业全部为金雨茂物投资企业,无锡埃瑞微半导体设备有限责任公司获初创组第二名,南京原磊纳米材料有限公司获成长组第三名。
据了解,大赛以“因创而聚,向新同行”为主题,由工业和信息化部火炬中心主办,本届高端装备制造全国赛入围企业181家(成长组123家;初创组58家),这些企业是从全国37个地方赛区的4600余家高端装备制造参赛企业中脱颖而出的“佼佼者”,充分展现了高端装备制造产业的强大实力和无限潜力。
初创企业组第二名——无锡埃瑞微半导体设备有限责任公司
企业成立于2023年7月,是一家专注于集成电路前道工艺量检测设备研发及制造的科技创新型企业,致力于为光刻工艺的大批量生产提供以套刻误差为代表的量测设备及其他缺陷检测设备,公司团队系亚洲为数不多的成建制套刻设备团队,并曾承担国家多项重大专项课题的研发,拥有国内顶尖的技术开发能力和坚实的设备量产经验。
公司的核心产品包括28nm及以下先进工艺Overlay套刻测量设备,该设备伴随光刻工艺使用,对于确保芯片制造过程中各个层次之间的精确对准至关重要,为半导体核心前道量检测设备之一。
成长企业组第三名——南京原磊纳米材料有限公司
企业成立于2018年9月,是一家专注于高端半导体镀膜设备研发制造的专精特新企业。公司核心成员拥有超过20年前道先进制程核心设备ALD/EPI研发经验,专注于高端研发型和量产型原子层沉积/原子层刻蚀(ALD/ALE)设备以及外延生长EPI设备自主研发,并致力于为客户提供纳米级薄膜原材料沉积工艺的整体解决方案,打破Applied Materials/ASM International等的垄断,实现国产替代。
公司产品主要涵盖原子层沉积(ALD)设备和硅锗外延(EPI)设备,并为客户提供精密加工服务。全线产品对标海外大厂,领跑国内厂商,先后荣获科技型中小企业、高新技术企业、南京市培育独角兽企业等荣誉。
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